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硅片清洗后表面出现花污,且在单面边缘一固定位置,可能是什么原因?

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:综合作业 时间:2024/05/14 16:38:30
硅片清洗后表面出现花污,且在单面边缘一固定位置,可能是什么原因?
最好给一些原理补充解释,谢谢!
有几种可能!1前工程,也就是线切割时到泥浆洗净这块有问题.2硅片洗净是要注意,洗净前就应该可以看到脏的,把脏的一面朝上插,超声波时间稍微加长,洗净机里面补充乳酸!应该就可以了!