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直流磁控溅射 射频磁控溅射 不同的原因
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/05/22 14:48:27
直流磁控溅射 射频磁控溅射 不同的原因
直流磁控溅射只能使用金属靶材,射频(13.56MHz)溅射由于高频的场效应可以使靶材的应用扩展到非金属材料,比如陶瓷材料等等.
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