作业帮 > 综合 > 作业

直流磁控溅射靶材被穿透,会有什么现象啊?

来源：学生作业帮 编辑：作业帮 分类：综合作业 时间：2024/05/11 01:54:26
直流磁控溅射靶材被穿透,会有什么现象啊?
如题.主要做的是金属靶材.在生产过程中,怎么监控靶材用量?随着靶材变薄,电压是不是会降低?靶材穿透会不会有打火现象啊!
1. 靶材穿透 不等于 电极穿透. 靶材一般都是固定在（相对）厚金属（例如 Cu）电极上.2. 由于电、磁、气、、等离子体、安装、靶材自身等因素的影响,靶材的消耗是不均匀的,基本成一个 环“U”状.“U”谷深度也不尽相同,存在一个薄弱点（最先穿透）.3. 穿透时电压、电流变化：主要视 （金属）靶材 、基座 的材料特性（原子序数、半径、电导率……）而有差异.4. 厚度监测：首先必须知道 初始靶材厚度,监测分两种： a. 直接法：打开机台,拆下靶材测量,绘出剩余靶材厚度分布图, b. 间接法：最大溅射淀积速率 x 时间 x 工艺批(片) = 安全系数 x 初始厚度. 其中 安全系数 由 a给出,或保守取值. 查看原帖
直流磁控溅射靶材被穿透,会有什么现象啊? 直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别到底是什么啊 磁控溅射法有哪些种类?反应磁控溅射法是不是分为直流磁控溅射法和交流磁控溅射法 直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别是什么啊?最好详细解释一下 直流磁控溅射 射频磁控溅射 不同的原因 在不打开真空腔的前提下,怎么判断磁控溅射靶材有没有用完,有什么特殊现象? 磁控溅射镀膜设备的工作原理?磁控溅射镀膜设备的真空度不够会有哪些影响? 日全食会有什么现象? 急.磁控溅射镀膜机的工作原理,有谁知道啊? 光波的衍射和穿透有什么区别啊?为什么波长越长越容易衍射,但是波长越短越容易穿透? 220V直流输出端并联压敏电阻5A左右应该选用什么类型的?我用的是821K为什么会有烧毁的现象? 在直流回路和交流回路中分别串联电感线圈,都有什么现象