磁控溅射设备能起辉但镀不上膜

来源：学生作业帮编辑：作业帮分类：综合作业时间：2024/05/10 11:22:04

磁控溅射设备能起辉但镀不上膜
主要的参数：靶材为铝靶,气体氩气,其它参数都没有问题
但是辉光是粉色的,而且还镀不上膜

没有镀过Al,不知道辉光的准确颜色.但是是不是你气压设置或者基片温度有问题呢?磁控溅射控制参数就这么几个了.既然能起辉,至少电流值应该在可选范围内了

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