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同样的真空度,分别用不同大小的束流镀膜,对真空镀膜机的影响有什么不同?
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/05/26 12:09:09
同样的真空度,分别用不同大小的束流镀膜,对真空镀膜机的影响有什么不同?
只要不超过机器的耐压极限就没有问题,不过镀膜的时候比较忌讳束流变化,那样影响膜层的均匀和最终效果.
再问: 那请问一般束流大些镀膜好些还是小一些好?能够镀膜的最小束流是多少?
再答: 根据材料不同速率也不同,比如氟化镁40ma就够了,二氧化硅就要100ma以上,氧化锆200ma左右,所以不能说大小就好,也要根据材料确定电流。
同样的真空度,分别用不同大小的束流镀膜,对真空镀膜机的影响有什么不同?
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