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真空溅射镀膜机的加热部分叫什么名字

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:综合作业 时间:2024/05/13 00:35:08
真空溅射镀膜机的加热部分叫什么名字
磁控溅射镀膜机的加热部分叫加热器,形状有很多种,都是外面是不锈钢管,里面有钨丝和石英,通过控制电流大小来控制加热的温度.