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劈尖干涉检测工件表面平整原理?

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:物理作业 时间:2024/05/15 17:31:17
劈尖干涉检测工件表面平整原理?
请问,这个问题的原理,
两束反射光为斜面反射光和工件反射光,加入工件平整的话,以最左端为x轴沿着向右方向相同距离所产生的高度差是一样的,会观察到等间距的平行干涉条纹,若是不平整有凹陷的话条文会提前出现,有凸起的话条文会滞后出现,发生变化的条文只是部分不是全部,所以能很明显的观察到