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硅片清洗工序中,sc-1 sc-2化学清洗液PH值怎样算?

来源：学生作业帮 编辑：作业帮 分类：数学作业 时间：2024/05/13 15:01:58
硅片清洗工序中,sc-1 sc-2化学清洗液PH值怎样算?
RCA,也就是一号液、二号液的PH值如何计算?配比?请高人指教.
标准RCA 溶液配比浓度大：SC1氨水：双氧水：水=1：1：5-1：2：7
SC2氯化氢：双氧水：水=1：1：6-1：2：8
氯化氢浓度37% 氨水浓度27% 双氧水30%
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