来源：学生作业帮 编辑：作业帮 分类：化学作业 时间：2024/05/28 03:58:17
baking在半导体扩散中的作用和影响
半导体中扩散炉管SIC的boat和tube需要baking,主要的作用是什么啊?要是不做会有什么影响啊?一般baking的温度和时间是多少啊?
SiC材料是一种疏松多孔的材料,很容易储藏一层水汽等,如果有水汽的话,你的drive in 和diffusion就难以控制了.当应用于高温drive in和LPCVD Poly等工艺时,SiC材质还需要CVD coating.温度为1100以上,时间根据你是否刚清洗完或日常处理而定
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