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真空镀膜的结构谁知道真空镀膜机的结构,有没有离子蒸发式镀膜机的结构图呢,我最主要想知道组装的大致结构和各部分的部件位置,

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:物理作业 时间:2024/05/11 19:42:54
真空镀膜的结构
谁知道真空镀膜机的结构,
有没有离子蒸发式镀膜机的结构图呢,我最主要想知道组装的大致结构和各部分的部件位置,
1.真空室
2.真空获得系统
3.真空检测系统
4.控制系统
5.冷却水系统
6.压缩空气系统
7.电源系统
8.工件转架系统
9.蒸发源系统
10.反应气体系统
11.配电系统
是做毕业设计么?有不明白的可以Hi我