在100度下抽真空,一段时间后,真空泵里有水,如何解决/

来源：学生作业帮编辑：作业帮分类：综合作业时间：2024/05/02 18:08:25

在100度下抽真空,一段时间后,真空泵里有水,如何解决/
用的是旋片式的真空泵,一段时间后里面全是水了.

是因为真空泵所抽气体里面含有水蒸气,旋片式真空泵在抽气过程中对气体有压缩作用.由于压缩作用水蒸气就会变成水.这会使真空泵内的泵油乳化,对真空泵是很有害的.你能不能再祥细描述一下你所抽的气体,不过有一点是可以肯定的,你说抽的气体里肯定含有一定量的水蒸气.根据说抽气体水蒸气含量的不同可以有不同的解决办发,如果是少量的,可以打开气振阀.如果工艺允许的话,可以在泵的进气口安装冷凝装置.如果水蒸气特别多,工艺又不允许安装冷凝装置的话,就要换其他种类的泵了.还要把你要的真空度说一下
我公司是美国AJA磁控溅射系统及德国普发真空泵(分子泵,旋片泵,罗茨泵)在中国的代理商,我刚进入真个行业,欢迎进行技术交流.
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