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镀膜过程中玻璃有掉膜现象怎么处理,有好的检验方法吗
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
物理作业
时间:2024/05/15 09:31:44
镀膜过程中玻璃有掉膜现象怎么处理,有好的检验方法吗
膜层结合力不好,原因很多,建议仔细排查一下.
再问: 排查那几个方面
再答: 真空度、是否漏气、基板清洗情况、靶材是否清洁、底膜工艺参数是否得当,等等
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