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请问采用磁控溅射镀膜膜厚最多能镀到多少?
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
物理作业
时间:2024/05/26 14:55:19
请问采用磁控溅射镀膜膜厚最多能镀到多少?
奇怪的提问
磁控溅射理论上的镀层厚度是原子/分子厚度到100纳米级别,当然更厚也可以,只要溅射时间足够长+靶材足够多.
一般是做表面处理或是纳米膜的制备.
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