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半导体产品经过热风循环烘箱烘烤后发现大量静电,为什么?

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:综合作业 时间:2024/05/11 00:54:21
半导体产品经过热风循环烘箱烘烤后发现大量静电,为什么?
工艺一直沿用,说明不是工艺问题,烘烤物品也没有问题,那么就在烘箱上和取放产品的环节上找找原因.
1.烘箱清理灰尘,内部擦拭,检测烘箱内部工作室是否完全绝缘,用静电测试装置检测一下.
2.取放产品的时候操作人员采取消除静电操作.
3.取产品的时候等待烘箱常温的时候再取.