做半导体工艺中硅片外延片与单晶CZ晶片有什么区别?

来源：学生作业帮编辑：作业帮分类：综合作业时间：2024/05/21 19:32:12

外延生长技术发展于20世纪50年代末60年代初,为了制造高频大功率器件,需要减小集电极串联电阻.像现在很火的led、mems,应该大多是做外延硅.
cz法做的硅片用途很广,但是质量上肯定没法比的,做器件的话顶多也是做基底用.

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