作业帮（太阳能）磁控溅射单靶机,电流咋确定?
来源：学生作业帮 编辑：作业帮 分类：综合作业 时间：2024/05/10 14:48:19
（太阳能）磁控溅射单靶机,电流咋确定?
请具体介绍一下,越详细越好,
请具体介绍一下,越详细越好,
如果有台阶仪 就是测量膜层厚度的仪器,测量厚度和精确度为纳米级精确度 确定电流、时间就确定了膜层的厚度 因为各层膜层厚度均有固定的最佳厚度值
所以电流和时间就可以确定
如果没有台阶仪也没事,电流可以按照传统的方式来实验 一般设备生产厂家都会按照他们所设计的靶、靶基距、靶头的绝缘强度等等来做出相应的电源,所以我们一般实验新的电源时不可以超过原设备生产厂家所提供的电源最大功率（或者说是电流）
电流在限制的范围内可以进行实验了 我们从最底层说起 红外反射层 也就是金属层, 电流增大到在排气过程中发射无变化就好了 记得,只是镀金属层后封口排气然后测量 吸收层按照金属层的方式相似实验,只是吸收的变化不大就好了 另外,真空室的漏气状况也决定了电流的大小 一般电流如果太大会产生变色现象严重的情况下,就要检查镀膜设备的漏气情况了 如果设备本身原因漏气率太大,不能解决的话,就稍微减少电流,可减轻变色现象,不过溅射气压需要相应作出减小调整,
按照经验来说,主要是根据靶基距来定功率的,具体的依据是什么我也不清楚,最好梦解释一下,但是从经验来讲,700机在30安左右,850机在40安左右,1050在50安左右,初步定好电流后,再根据流量、吸收率去调整,当然还要看电源的能力,最好不要超过电源额定电流的85%,以便保护电源
所以电流和时间就可以确定
如果没有台阶仪也没事,电流可以按照传统的方式来实验 一般设备生产厂家都会按照他们所设计的靶、靶基距、靶头的绝缘强度等等来做出相应的电源,所以我们一般实验新的电源时不可以超过原设备生产厂家所提供的电源最大功率（或者说是电流）
电流在限制的范围内可以进行实验了 我们从最底层说起 红外反射层 也就是金属层, 电流增大到在排气过程中发射无变化就好了 记得,只是镀金属层后封口排气然后测量 吸收层按照金属层的方式相似实验,只是吸收的变化不大就好了 另外,真空室的漏气状况也决定了电流的大小 一般电流如果太大会产生变色现象严重的情况下,就要检查镀膜设备的漏气情况了 如果设备本身原因漏气率太大,不能解决的话,就稍微减少电流,可减轻变色现象,不过溅射气压需要相应作出减小调整,
按照经验来说,主要是根据靶基距来定功率的,具体的依据是什么我也不清楚,最好梦解释一下,但是从经验来讲,700机在30安左右,850机在40安左右,1050在50安左右,初步定好电流后,再根据流量、吸收率去调整,当然还要看电源的能力,最好不要超过电源额定电流的85%,以便保护电源