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为什么在待刻蚀硅片的两边,分别放置一片与硅片同样大小的玻璃夹板,叠放整齐,

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:综合作业 时间:2024/05/21 00:01:40
为什么在待刻蚀硅片的两边,分别放置一片与硅片同样大小的玻璃夹板,叠放整齐,
主要是夹紧硅片的作用,如果不夹紧,硅片边缘会出现刻蚀过宽的现象
再问: 因为硅片是平面的,应该不是把两个玻璃板放在硅片的两个平面上吧,而是让硅片把要刻蚀的平面暴露在反应腔里是吗?玻璃板夹在他的周围固定
再答: 夹板面积要略大于硅片的面积,这样刻蚀时夹板会对硅片边缘起到保护的作用。要刻蚀的是硅片的四周边缘,而不是上下表面。
再问: 你好再问一下,为什么刻蚀的是硅片的四周边缘啊,刻蚀完的硅片接下来一般有什么步骤i啊
再答: 扩散时在硅片四周也形成了扩散层,扩散层是导电的,如不去除四周的扩散层,硅片在印刷浆料后,在电池正面和背面电极之间形成了短环路,使电池片的转换效率下降。刻蚀是把硅片四周的扩散层去除。 刻蚀后须经去磷硅玻璃—PECVD镀膜—丝网印刷—烧结—分选包装。