扫描电镜SEM/EDX测试的井深是多少?

来源：学生作业帮编辑：作业帮分类：综合作业时间：2024/05/12 14:18:20

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应该是景深吧``
焦深计算公式
L= ±[(r/M)-d]/2α 其中：
L:焦深
r:显像管最小分辨距离
M：放大倍数
d：入射电子束直径
2α：物镜孔径角.
从上面的式子可以看出影响焦深的因素,其中隐含了工作距离w.物镜孔径角与工作距离和入射电子束直径有关.由于r（显像管的分辨率）和2α都是未知数,实际上不能计算.焦深也只是个人的视觉感受,还是直观的测量一下为好.
又查了资料``显像管最小分辨距离为0.22mm-0.3mm,孔径角的典型数值为10-2—10-3rad.利用公式L= ±[(r/M)-d]/2α可以计算出在有效放大倍率下的焦深数据.设d=3纳米,孔径角2α=10-2 rad,r=0.3mm.计算焦深如下：
1000倍下为59.4微米.5000倍下为11.4微米.10000倍下为5.4微米.超过100000倍已经超过了有效放大倍率.不能计算.

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