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半导体行业有真空设备吗?他们是怎么测量真空的,用什么仪表?
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/05/14 18:28:20
半导体行业有真空设备吗?他们是怎么测量真空的,用什么仪表?
主要是用真空规,一般前级真空一个,本底和工艺监控各一个,都选的是进口的真空计,皮拉尼、热电离规、电容薄膜规,品牌主要为瑞士Inficon或美国MKS
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