怎么测量半导体薄膜的电阻率

来源：学生作业帮编辑：作业帮分类：综合作业时间：2024/04/25 06:13:38

怎么测量半导体薄膜的电阻率

测量半导体电阻率的方法很多,按是否与样品接触可以分为两类,即接触式和非接触式.常用的电阻率测量方法有直接法、二探针法、三探针法、四探针法、多探针阵列、扩展电阻法、霍尔测量、涡流法、微波法、电容耦合C-V测量等.对于体单晶的电阻率测量,生产中应用最普遍的是四探针法；对于半导体晶片的电阻率测量,微波法等非接触式测量方法由于使用方便、不损坏样品,因而应用也越来越多.

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