作业帮真空镀膜时开扩散泵前要关真空室门和充气阀门么?
来源：学生作业帮 编辑：作业帮 分类：综合作业 时间：2024/05/13 12:12:17
真空镀膜时开扩散泵前要关真空室门和充气阀门么?
那是一定的,真空镀膜机是有保护程序的.
再问： 为什么操作步骤上是预热40分钟后才放样关真空室门和充气阀门？
再答： 你好！这才是正确的操作说明: 每日开机前先要检查各靶的冷却水，严格检查水路是否畅通，开各气源Ar。N2等，打开各电柜的电源。 （一）；加热机器 1． 打开真空控制电源总开关。 2． 开维持泵对扩散泵抽低真空，并测量差级真空度。 3． 待前级压力达到1x10-1Pa时，开扩散泵加热。 4． 开充气阀，对真空炉充气，打开真空炉门，清扫炉内，用高压气枪和吸尘器清理，在关好炉门。 5． 待扩散泵正常工作一小时后，开机械泵，在开预抽阀。当真空炉真空度抽到1000Pa后开罗茨泵。 6． 打开所有气源充气阀，关紧气瓶的阀门。 7． 当压力达到3.Pa后，关预抽阀，开前级阀在开高真空阀，对真空炉抽高真空。 8． 当真空炉真空达到1.8x10-3Pa.后开工件旋转开，关加热，设温100度。 9． 空镀各靶。 10． 降炉温到50度以下，关高阀，在关罗茨泵，在关前级泵，在打开充气阀，清扫炉室，等待工件进炉镀膜。 （二）．镀膜 1．打开炉门，装入工件，开动工件旋转。检查工件是否有相撞的产品调好，关好炉门。 2．开机械泵，在开预抽阀，当真空度到1000pa时，开罗茨泵，真空度到3Pa时，关预抽阀，在开前级阀，在开高阀，等真空度到7.0x10-3Pa。 3．充入Ar气，充入工艺（详见对应加工产品《镀膜参数表》）要求的数量，开起靶动力开关。开始镀膜记时间。 4．当时间达到工艺要求后关掉靶电源，和气体。 5．关高阀，在关罗茨泵，在关前级阀，关机械泵，打开充气阀，出炉取出产品。 6．以上是镀膜的一个周期。 （三）．关机 1．关上炉门，抽气，让炉内保持一个真空状态。 2．关闭抽气系统，注意：（关扩散泵时要始扩散泵冷却一个小时，才可关闭维持泵） 3．在关水 电 气。
再问： 为什么操作步骤上是预热40分钟后才放样关真空室门和充气阀门？
再答： 你好！这才是正确的操作说明: 每日开机前先要检查各靶的冷却水，严格检查水路是否畅通，开各气源Ar。N2等，打开各电柜的电源。 （一）；加热机器 1． 打开真空控制电源总开关。 2． 开维持泵对扩散泵抽低真空，并测量差级真空度。 3． 待前级压力达到1x10-1Pa时，开扩散泵加热。 4． 开充气阀，对真空炉充气，打开真空炉门，清扫炉内，用高压气枪和吸尘器清理，在关好炉门。 5． 待扩散泵正常工作一小时后，开机械泵，在开预抽阀。当真空炉真空度抽到1000Pa后开罗茨泵。 6． 打开所有气源充气阀，关紧气瓶的阀门。 7． 当压力达到3.Pa后，关预抽阀，开前级阀在开高真空阀，对真空炉抽高真空。 8． 当真空炉真空达到1.8x10-3Pa.后开工件旋转开，关加热，设温100度。 9． 空镀各靶。 10． 降炉温到50度以下，关高阀，在关罗茨泵，在关前级泵，在打开充气阀，清扫炉室，等待工件进炉镀膜。 （二）．镀膜 1．打开炉门，装入工件，开动工件旋转。检查工件是否有相撞的产品调好，关好炉门。 2．开机械泵，在开预抽阀，当真空度到1000pa时，开罗茨泵，真空度到3Pa时，关预抽阀，在开前级阀，在开高阀，等真空度到7.0x10-3Pa。 3．充入Ar气，充入工艺（详见对应加工产品《镀膜参数表》）要求的数量，开起靶动力开关。开始镀膜记时间。 4．当时间达到工艺要求后关掉靶电源，和气体。 5．关高阀，在关罗茨泵，在关前级阀，关机械泵，打开充气阀，出炉取出产品。 6．以上是镀膜的一个周期。 （三）．关机 1．关上炉门，抽气，让炉内保持一个真空状态。 2．关闭抽气系统，注意：（关扩散泵时要始扩散泵冷却一个小时，才可关闭维持泵） 3．在关水 电 气。
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