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如何减少太阳能电池片镀膜过程中产生的氮化硅?
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/05/21 21:05:28
如何减少太阳能电池片镀膜过程中产生的氮化硅?
主要是因为板式镀膜过程中出现掉粉,污染电池片.想要找到一个解决办法.
提高传输速度;减少溅射时间;降低溅射功率,同时调节气体流量.上海贺利氏材料科技有限公司提供溅射用高纯硅(Si)旋转靶,有兴趣试试看.
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