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请问PVD的原理是什么?
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/05/18 00:45:53
请问PVD的原理是什么?
离子镀膜(PVD镀膜)技术,其原理是在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质电离,在电场的作用下,使被蒸发物质或其反应产物沉积在工件上
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