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怎样降低PECVD石墨舟的使用成本
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/05/24 23:56:11
怎样降低PECVD石墨舟的使用成本
电板夹拆下后放入5%的HF溶液中泡三四个小时(氮化硅泡掉为止),再提至清水槽中泡一个小时(最好有鼓泡),吹干水份放入烤箱中烘一个小时左右(最好有吹风装置)
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