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黄光制程为什么使用黄色的光?
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/05/21 22:51:49
黄光制程为什么使用黄色的光?
微影 (Lithography) 技术是将光罩 (Mask) 上的主要图案先转移至感光材料上,利用光线透过光罩照射在感光材料上,再以溶剂浸泡将感光材料受光照射到的部份加以溶解或保留,如此所形成的光阻图案会和光罩完全相同或呈互补.由于微影制程的环境是采用黄光照明而非一般摄影暗房的红光,所以这一部份的制程常被简称为"黄光".
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