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激光干涉仪能检测到的机床定位精度最高能达到多少?

来源：学生作业帮 编辑：作业帮 分类：综合作业 时间：2024/05/05 14:05:08
激光干涉仪能检测到的机床定位精度最高能达到多少?
安捷伦就是之前的惠普的现在能达到0.4ppm（每米的误差在0.4微米）
雷尼绍的能达到0.5ppm即每米的误差在0.5微米.
如果你的机床要测2米,用安捷伦的总误差在0.8微米,雷尼绍的在1微米.你测的越长累计误差越大.
当然这些都是理论实验室技术参数,一般在高级实验室才能实现.
如果在机床现场使用这个精度基本上很难保障,主要看干涉仪的抗干扰性了.安捷伦的是双频外差干涉相对要好一些,当然单频的雷尼绍也是能用的.在不追求非常高精度和高稳定性时,二者差距不大.
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