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我要检测位移,精度要求0.1um,有什么好的方式可以实现.

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:综合作业 时间:2024/05/23 00:10:21
我要检测位移,精度要求0.1um,有什么好的方式可以实现.
测量点间距1cm~20cm(或0到更大)可以调整,间距确定后,间距变化范围200um,精度要求0.1um.
直线位移?
0.1的显示精度?还是重复精度!
苏州普费勒精密量仪