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如何用DBD方式产生等离子体而不产生臭氧
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/05/13 18:12:09
如何用DBD方式产生等离子体而不产生臭氧
可能不行,但产生高密度等离子体时,尽可能少产生臭氧有什么方法吗?
DBD一般是在常压下进行的,似乎对电极加温也可以减少臭氧发生量,不知是否?
在真空环境下对工作气体放电,如果没有真空环境的话就尽量调低电压,使用惰性气体作为工作气体并且尽量提高它的流量...
再问: DBD一般是在常压下进行的,似乎对电极加温也可以减少臭氧发生量,不知是否?
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