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请问哪位高手知道ITO和sio2薄膜的主要性能参数是那些,以及用什么设备测试这些参数,测试设备的原理是什么

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:综合作业 时间:2024/05/27 21:59:19
请问哪位高手知道ITO和sio2薄膜的主要性能参数是那些,以及用什么设备测试这些参数,测试设备的原理是什么
谢求各位大侠给予答复
ITO :膜厚,透过率,方块电阻.
分别用 台阶仪,分光光度计,四探针电阻仪 测量,原理就比较复杂了
sio2:膜厚,台阶仪测量.