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secco腐蚀液是什么
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
物理作业
时间:2024/05/16 09:18:38
secco腐蚀液是什么
用机械减薄和氧化剥层法获得表层硅厚度约0.4μm的BESOI薄膜.对这种薄膜用Secco腐蚀液腐蚀并分析了缺陷种类,计量了缺陷密度.用波长为0.5145μm的激光Raman谱测量了BESOI薄膜和界面附近的应力密度.结果表明,该薄膜的主要缺陷为氧化层错,密度约1.8×103/cm2,总的缺陷密度为2.6×103/cm2,张应力密度δ≤5×103N/cm2.
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