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磁控溅射靶在溅射薄膜时靶没有辉光,电压在800伏,其他情况都正常.怎么回事?

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:综合作业 时间:2024/06/09 07:03:42
磁控溅射靶在溅射薄膜时靶没有辉光,电压在800伏,其他情况都正常.怎么回事?
你调调溅射气体气压.氩气气流调大一些,等起辉了再调到所需要的值试试