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如果用化学气相沉积法在硅片上镀铝,请问最大厚度能够达到多少?

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:化学作业 时间:2024/05/17 05:11:14
如果用化学气相沉积法在硅片上镀铝,请问最大厚度能够达到多少?
我看到过日本的样品通过CVD法可以做到2mm,国内的我看到的是0.3mm,不知道有没有更好的,我也在寻找.
再问: 谢谢 请问,有没有这方面报道的资料呢? 我想参考一下,谢谢
再答: 这个我也是别人介绍的时候去看的,相关资料没没啊。苏州那边和上海浦东那边有很多这方面的企业,你可以问问。如果仅仅是学校里边做实验的话,我想相关的文献还是很多的。