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蓝宝石衬底可以生长几次外延,然后衬底会怎样?

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:综合作业 时间:2024/05/22 13:54:29
蓝宝石衬底可以生长几次外延,然后衬底会怎样?
SiC 及GaN为代表的宽禁带材料,是继Si和GaAs之
后的第三代半导体.与Si相比,SiC具有宽禁带Si的2~3倍 、高热导
率Si的3.3倍 、高击穿场强 Si的10倍 、高饱和电子漂移速率 
Si的2.5倍 、化学性能稳定、高硬度、抗磨损以及高键合能等优点.所以,
SiC特别适合于制造高温、高频、高功率、抗辐射、抗腐蚀的电子器件.