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求助一篇JJAP期刊的文献(MEMS相关）

来源：学生作业帮 编辑：作业帮 分类：综合作业 时间：2024/05/27 23:30:21
求助一篇JJAP期刊的文献(MEMS相关）
Monolithic Fabrication of Electroplated Solenoid Inductors Using Three-Dimensional Photolithography of a Thick Photoresist
作者：Yoon,Jun-Bo; Han,Chul-Hi; Yoon,Euisik; Kim,Choong-Ki
DOI：10.1143/JJAP.37.7081
出版时间：12/1998
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