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PVD高手,请问工具pvd后颜色异常有什么影响?
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/05/11 12:49:32
PVD高手,请问工具pvd后颜色异常有什么影响?
颜色如果从工艺角度来看,主要影响因素有偏压的大小,和反应气体的用量,靶功率的大小等,一般情况下你工艺调试到位后这些是不会变化的,如果突然发生变化,要考虑到你靶材的消耗,或是设备有漏气等其它因素,这要看具体的情况.
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