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将气压从大气压降到10的-8次方Torr要经历哪分别经历哪三个真空泵抽气?

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:物理作业 时间:2024/05/25 09:49:17
将气压从大气压降到10的-8次方Torr要经历哪分别经历哪三个真空泵抽气?
请注明各种真空泵的抽真空范围?
机械泵-扩散泵-分子泵-离子泵
不过,现在技术进步了,可以直接机械泵-分子泵即可达到10的-8次方To