多弧离子镀设备工作时,一个弧的功率一般是多大?电流是多少?(不锈钢镀TIC)

来源：学生作业帮编辑：作业帮分类：综合作业时间：2024/05/24 11:53:55

多弧离子镀设备工作时,一个弧的功率一般是多大?电流是多少?(不锈钢镀TIC)
镀膜时,滑阀泵与罗茨泵一直要保持运转状态吗?

多弧阴极根据靶材的不同,能够稳定工作的电流是不一样的,例如：如果是Cr靶,可以在60A左右就可以稳定工作,Ti靶在70A左右可以稳定工作,Zr的稳弧电流稍高一些,大约在100A左右,阴极的工作电压在20V-30V之间.
镀膜时,比如你要做TIC黑膜,就必须选用Ti靶,TI的工作电流在70A,工作电压在25V左右,需要向真空室内充入C2H2气体,镀膜时的真空度要保持在0.5Pa左右,一般情况下,是用分子泵或者扩散泵来抽取这些气体,使得真空室保持一定的压力,此时的滑阀泵和罗茨泵充当分子泵或者扩散泵的前级泵,是一直要开着的.

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