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二十分,扩散泵,高真空问题,

来源:学生作业帮 编辑:作业帮 分类:综合作业 时间:2024/05/16 09:20:08
二十分,扩散泵,高真空问题,
由高真空油扩散泵与旋片式真空泵组成的高真空系统,预抽真空(低真空)能抽到3.8*10Pa.预热时间也够长,却开不了高阀,开高真空后真空度显示涨到10的2次方了,抽不下,
是不是你的系统有漏气呀?
你的前级是抽到38Pa了吗?那应该够了啊.
如果前级到了38Pa,开扩散泵后到100Pa了,那肯定是你的扩散泵的问题