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抛光垫在平面研磨机加工工件时有什么作用
来源:学生作业帮 编辑:
作业帮
分类:
综合作业
时间:2024/06/08 22:34:11
抛光垫在平面研磨机加工工件时有什么作用
海德与您分享平面研磨抛光时,抛光垫的作用:
\x09 ①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域;
\x09 ②将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出,达到去除效果;
\x09 ③维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行;
\x09 ④保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌.
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